近日，我國研究團(tuán)隊(duì)通過冷凍電子斷層掃描技術(shù)，首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，這次對(duì)液體中聚合物微觀行為的成功解碼，將推動(dòng)先進(jìn)制程中光刻、蝕刻、濕法清洗等關(guān)鍵工藝的缺陷控制與良率攀升，為芯片性能發(fā)展注入新動(dòng)能。

今日早盤，光刻膠相關(guān)概念股集體大漲，存儲(chǔ)芯片概念持續(xù)升溫，CPO、算力概念也表現(xiàn)活躍，科創(chuàng)板50指數(shù)跳空高開，截至9:40，該指數(shù)上漲1.7%。

科創(chuàng)板50指數(shù)由科創(chuàng)板中市值大、流動(dòng)性好的50只證券組成，反映最具市場(chǎng)代表性的一批科創(chuàng)企業(yè)的整體表現(xiàn)，半導(dǎo)體行業(yè)為第一大權(quán)重行業(yè)，指數(shù)前五大成分股為中芯國際、海光信息、寒武紀(jì)、瀾起科技、中微公司，合計(jì)占比約45%。

科創(chuàng)板50ETF（588080）最新規(guī)模約750億元，在同類產(chǎn)品中領(lǐng)先，該產(chǎn)品實(shí)行ETF中最低一檔0.15%/年的管理費(fèi)率，可助力投資者低成本布局前沿科技賽道。