截至9月30日13:19，上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)強勢上漲1.46%，成分股神工股份上漲13.63%，晶升股份上漲10.12%，芯源微上漲5.68%，中芯國際上漲3.07%。科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）上漲1.39%，盤中溢價頻現(xiàn)，買盤活躍。拉長時間看，截至9月29日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1周累計上漲15.52%。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF最新規(guī)模達26.04億元，創(chuàng)成立以來新高。從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近9天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得6.32億元凈流入，合計“吸金”17.21億元，日均凈流入達1.91億元。

公開信息顯示， 科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF （588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中 半導(dǎo)體設(shè)備 （59%）和半導(dǎo)體材料（25%）細分領(lǐng)域的硬科技公司。 半導(dǎo)體設(shè)備 和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領(lǐng)域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導(dǎo)體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進展。