每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-09-14 17:09:34
富樂德（301297.SZ）9月14日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司不涉及光刻設(shè)備相關(guān)技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)品制造，亦不涉及光刻設(shè)備洗凈。
(記者 蔡鼎)
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富樂德：光刻環(huán)節(jié)的溶膠顯影、涂膠等設(shè)備系公司洗凈服務(wù)對(duì)象
富樂德：半導(dǎo)體光刻環(huán)節(jié)涉及溶膠顯影設(shè)備、涂膠設(shè)備、光刻設(shè)備、對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)設(shè)備等多種設(shè)備
富樂德：半導(dǎo)體光刻環(huán)節(jié)涉及溶膠顯影設(shè)備、涂膠設(shè)備、光刻設(shè)備、對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)設(shè)備等多種設(shè)備
富樂德： 目前公司已研發(fā)并量產(chǎn)半導(dǎo)體14nm制程洗凈工藝、儲(chǔ)備的半導(dǎo)體7nm部品清洗工藝已較為成熟
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